EBARA G5 是带专利滚动燃烧器的紧凑型燃烧 + 洗涤式排废处理装置，核心优势为 PFCs 高效处理、按需燃料控制、自动清粉，适配半导体刻蚀 / CVD 等制程，可与 EBARA 干式真空泵联动，处理效率（DRE）高、运行 / 维护成本低。以下是详细信息：核心特点PFCs 高效处理：专利 “…
阅读更多EBARA TND 系列是低 NOₓ燃烧式排废处理装置，主打低排放、长维护周期、低运行成本，适配半导体 PFCs / 含氟 / 硅系等难处理废气，以 “燃烧 + 洗涤” 双段工艺实现高 DRE，适配刻蚀、CVD 等制程，可与 EV‑PA/EV‑M 等干式真空泵联动。以下是核心信息：核心特点低排放清
阅读更多EBARA G - WS 是紧凑型湿式洗涤式排废处理装置，核心优势为低初购 / 运行成本、长维护周期、省空间，专为半导体等行业常温水溶性有害气体处理设计，适配外延、ALD、金属刻蚀等制程，可一括处理 NH₃、HF、HCl、WF₆等多种气体。以下是详细信息：核心特点低成本高效处理：…
阅读更多EBARA EBT 系列是机械陶瓷轴承式复合涡轮分子泵，定位高真空 / 超高真空场景的高性价比方案，相比 EMT 磁悬浮系列，以更低成本提供稳定洁净真空，适配半导体、分析仪器、镀膜等对真空洁净度与可靠性要求高的场景。以下是核心信息：核心特点陶瓷轴承，耐用可靠：采用精密陶…
阅读更多EBARA EMT 系列是 5 轴磁悬浮式超高真空涡轮分子泵，核心优势是无碳氢污染、超低振动、安装自由，抽速覆盖 340–4200 L/s，适配半导体、分析仪器、加速器等对真空洁净度与稳定性要求极高的场景。以下是详细介绍：核心特点磁悬浮无接触运行：5 轴主动磁悬浮轴承，无机械摩…
阅读更多EBARA 干式真空泵 EV - PA 系列是超小型空冷式无油干式真空泵，以单相宽电压适配、便携低噪、免维护为核心优势，主打实验室与轻负载工业的洁净真空场景，可替代传统涡旋泵与油泵。以下是详细介绍：核心特点完全空冷与低维护：无需冷却水，仅靠电源即可运行，安装自由度高…
阅读更多EBARA 干式真空泵 EV-SA 系列是无冷却水的小型空冷式多级罗茨型干式真空泵，主打无油洁净、低能耗、低噪音，适配实验室与轻负载工业的清洁抽气场景。以下是其核心信息：核心特点完全空冷免维护：无需冷却水，仅需电源即可运行，安装自由度高；非接触式转子设计，低维护、…
阅读更多EBARA 干式真空泵 ESA 系列是基于罗茨泵技术的干式真空泵，核心优势是轻气体抽气高效、大腔室快速抽气，且具备智能控制与耐腐蚀特性，广泛用于 MO - CVD、LCD、光伏等场景。以下是详细介绍：核心特点轻气与大腔双适配：抽速覆盖 1400–10000 L/min（轻气型，如氢气）和 2…
阅读更多EBARA 干式真空泵 EST 系列是基于螺杆泵技术的无水冷却型真空泵，适用于处理反应副产物和大容积腔室的快速抽气。以下是其详细介绍：产品特点适应高温环境：配备高温运行功能，可将泵内气体维持在高温状态，防止反应副产物冷凝，适用于化学气相沉积（CVD）等会产生反应副产…
阅读更多EBARA 干式真空泵 EV-M 系列是专为应对半导体、液晶和太阳能电池制造过程中产生大量副产物的高负荷工艺而设计的。以下是其详细介绍：产品特点高效节能：采用智能控制系统，具备怠速模式，可根据实际负载情况自动调节运行状态，有效降低能耗，实现显著的节能效果。耐腐蚀性…
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