EBARA G-WS 是紧凑型湿式洗涤式排废处理装置

核心特点

1. 低成本高效处理：无需燃料，运行成本低，初购成本显著低于燃烧式处理装置；常温吸收工艺，可一括处理多种水溶性气体，处理效率（DRE）高，副产物固定化设计，避免管路堵塞，维护周期长（依托荏原 10 年以上燃烧式设备的副产物对策技术）。

2. 省空间易维护：结构紧凑，仅需设备前方预留维护空间，适配半导体厂房狭小的 Sub - fab 区域；模块化设计，维护便捷，可快速更换部件，减少停机时间。

3. 安全与合规可靠：无明火风险，通过 SEMI - S2、CE、NRTL 等认证；流路防副产物附着设计，保障长期稳定运行，降低安全隐患。

4. 适配性强：可匹配 EV - PA/EV - SA/EV - M 等 EBARA 干式真空泵，形成真空 - 排废一体化系统；支持定制化化学药剂方案，适配不同制程气体处理需求。

主流型号与关键参数（典型值）

典型应用

• 半导体制造：外延、原子层沉积（ALD）、金属刻蚀、氮化硅制程等产生的水溶性工艺废气处理。

• 光伏与电子材料：太阳能电池、LED 制造中含 NH₃、HF 等废气的净化。

• 科研实验室：涉及水溶性有害气体的材料合成、刻蚀等实验的废气处理。