EBARA EMT 系列是 5 轴磁悬浮式超高真空涡轮分子泵

核心特点

1. 磁悬浮无接触运行：5 轴主动磁悬浮轴承，无机械摩擦，无油 / 无碳氢污染，长寿命，基本免维护；运行振动极低，适配对微振动敏感的精密仪器与制程。

2. 抽速与真空覆盖广：抽速 340–4200 L/s（N₂），极限压力可达 < 1×10⁻⁶ Pa，可匹配前级泵实现超高真空，允许背压最高约 400 Pa（3 Torr），前级泵适配性强。

3. 冷却与控制灵活：分集成控制器型与分离型，支持空冷 / 水冷（EMT2200MK/3300MK 等除外）；可选高温、耐腐蚀、极低振动、抗辐射（PK 板可选）等定制规格，适配复杂工况。

4. 安装与合规友好：可任意方向安装，节省空间、便于系统集成；支持网络连接，远程监控便捷；符合 SEMI - S2、CE、NRTL 认证，适配半导体等高端应用。

主流型号与关键参数（N₂抽速，典型值）

典型应用

• 半导体与微电子：光刻、刻蚀、CVD、离子注入等超高真空制程，以及晶圆检测设备。

• 分析仪器：电子显微镜、质谱仪、XPS、表面分析设备等对真空洁净与振动敏感的仪器。

• 科研与特种工业：加速器、核聚变装置、真空镀膜、量子器件研发等超高真空场景。