EBARA TND 系列是低 NOₓ燃烧式排废处理装置

EBARA TND 系列是低 NOₓ燃烧式排废处理装置，主打低排放、长维护周期、低运行成本，适配半导体 PFCs / 含氟 / 硅系等难处理废气，以 “燃烧 + 洗涤” 双段工艺实现高 DRE，适配刻蚀、CVD 等制程，可与 EV‑PA/EV‑M 等干式真空泵联动。以下是核心信息：核心特点低排放清

EBARA TND 系列是低 NOₓ燃烧式排废处理装置，主打低排放、长维护周期、低运行成本，适配半导体 PFCs / 含氟 / 硅系等难处理废气，以 “燃烧 + 洗涤” 双段工艺实现高 DRE，适配刻蚀、CVD 等制程，可与 EV‑PA/EV‑M 等干式真空泵联动。以下是核心信息：

低排放清洁燃烧：独创燃烧技术，NOₓ/CO 排放远低于传统燃烧式，符合半导体 SEMI‑S2 与环保标准，无需额外脱硝 / 脱碳设备，降低合规成本。
长周期低维护：全流路防腐蚀 / 防副产物附着设计，副产物自动排出，维护间隔达传统产品 3 倍以上，显著减少停机与耗材更换频次。
双配置适配广：分 TND‑Single（燃烧 + 水洗涤）与 TND‑Single Plus（前段洗涤 + 燃烧 + 水洗涤），前者适配常规废气，后者适配高副产物 / 高腐蚀性工况，选型更精准。
低能耗高 DRE：高效燃烧室 + 低能耗设计，处理 PFCs 等气体 DRE＞99.9%，运行成本低于同类燃烧式设备，且无明火安全隐患。
真空‑排废一体化：无缝匹配 EBARA 全系列干式真空泵，支持远程监控与自动联锁，适配半导体 Sub‑fab 狭小空间安装。

型号	最大处理风量（L/min）	核心处理气体	适用制程	适配前级泵	配置特点
TND‑Single P1	1000	CF₄、SF₆、SiH₄、NH₃、HF 等	刻蚀、CVD 等中小流量	EV‑PA/EV‑SA 小型干式泵	单模块，燃烧 + 洗涤，紧凑安装
TND‑Single P2	2000	同上	中等流量刻蚀、ALD	EV‑M/ESA 中型干式泵	双模块，处理能力更强
TND‑Single P3	3000	同上	批量 CVD、大流量刻蚀	EV‑M/EST 中大型干式泵	多模块，适配高负载工况
TND‑Single Plus P2	2000	高副产物 / 高腐蚀气体（如 WF₆、SiCl₄）	先进制程刻蚀 / 外延	EV‑M/EST 中大型干式泵	三段式，前段预洗 + 燃烧 + 后洗

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