EBARA G5 是带专利滚动燃烧器的紧凑型燃烧 + 洗涤式排废处理装置

核心特点

1. PFCs 高效处理：专利 “rolling burner” 技术，PFCs（CF₄/SF₆等）DRE＞99.9%，兼顾可燃性、水溶性与硅系等多类气体一括处理，适配半导体高要求制程。

2. 低运行成本：按需燃料调节（燃料量随气体类型 / 流量自动适配），无额外脱硝 / 脱碳设备，显著低于传统燃烧式；大型水洗槽高效吸收水溶性气体与固体副产物，降低耗材与能耗。

3. 长周期低维护：自动清除粉状副产物，减少人工清理；流路防附着设计，维护间隔比传统产品更长，提升设备稼动率。

4. 紧凑安全合规：体积小，适配 Sub‑fab 狭小空间；通过 SEMI‑S2、CE、NRTL 认证，无明火风险，适配半导体安全规范。

5. 真空‑排废一体化：无缝匹配 EV‑PA/EV‑SA/EV‑M 等 EBARA 干式真空泵，支持远程监控与联锁控制，安装调试便捷。

主流型号与关键参数（典型值）

典型应用

• 半导体制造：刻蚀（含氟）、CVD、外延等 PFCs 及多组分工艺废气处理。

• 显示与光伏：LCD/OLED 薄膜沉积、太阳能电池 PERC / 异质结工艺含硅 / 含氟废气净化。

• 科研实验室：涉及 PFCs、硅烷类等有害气体的材料合成与制程实验废气处理。