EBARA 干式真空泵EV-PA

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2025/12/25 16:57:35
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EBARA 干式真空泵 EV - PA 系列是超小型空冷式无油干式真空泵,以单相宽电压适配、便携低噪、免维护为核心优势,主打实验室与轻负载工业的洁净真空场景,可替代传统涡旋泵与油泵。以下是详细介绍:核心特点完全空冷与低维护:无需冷却水,仅靠电源即可运行,安装自由度高…

EBARA 干式真空泵 EV - PA 系列是超小型空冷式无油干式真空泵,以单相宽电压适配、便携低噪、免维护为核心优势,主打实验室与轻负载工业的洁净真空场景,可替代传统涡旋泵与油泵。以下是详细介绍:

核心特点

  1. 完全空冷与低维护:无需冷却水,仅靠电源即可运行,安装自由度高;非接触式密封与转子设计,无需更换密封件,寿命长,基本免年度维护,无油污染,降低使用成本

  2. 便携与电源适配强:小型轻量化,EV - PA500 仅约 21kg,适合台式或移动系统;单相 100-240V 宽电压适配,50/60Hz 频率下抽气性能一致,适配不同地区电网

  3. 洁净低噪与合规:无油洁净真空,适配高洁净度分析仪器;运行噪音约 58dB (A),环境友好;具备 SEMI - S2、CE、NRTL 认证,适配半导体等高端应用

  4. 远程监控可选:部分型号支持远程监控与控制,便于实验与设备管理,提升操作便利性。

关键技术参数(主流型号)

型号抽气速度(L/min)极限压力(Pa,气镇关 / 开)进气口口径排气口口径额定功率(kW,极限压力时)电源容量(kVA)重量(kg)
EV - PA5050200/200NW25NW250.230.312
EV - PA2502500.5/2.0NW25NW250.240.4518
EV - PA5005000.5/2.0NW40NW250.270.621
* 注:极限压力数值因测量条件略有差异

典型应用

  • 分析仪器:电子显微镜、质谱仪、X 射线光电子能谱(XPS)等对真空洁净度要求高的设备。

  • 实验室与研发:半导体轻负载锁腔、材料表面分析、小型真空腔体抽气、可移动式检漏仪配套。

  • 轻量工业:光伏 / 平板显示的小型腔室、真空干燥、小型负载锁定腔等无腐蚀性副产物的工况