EBARA 干式真空泵EV-PA

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2025/12/25 16:57:35
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EBARA 干式真空泵 EV - PA 系列是超小型空冷式无油干式真空泵，以单相宽电压适配、便携低噪、免维护为核心优势，主打实验室与轻负载工业的洁净真空场景，可替代传统涡旋泵与油泵。以下是详细介绍：核心特点完全空冷与低维护：无需冷却水，仅靠电源即可运行，安装自由度高…

EBARA 干式真空泵 EV - PA 系列是超小型空冷式无油干式真空泵，以单相宽电压适配、便携低噪、免维护为核心优势，主打实验室与轻负载工业的洁净真空场景，可替代传统涡旋泵与油泵。以下是详细介绍：

核心特点

  1. 完全空冷与低维护：无需冷却水，仅靠电源即可运行，安装自由度高；非接触式密封与转子设计，无需更换密封件，寿命长，基本免年度维护，无油污染，降低使用成本。

  2. 便携与电源适配强：小型轻量化，EV - PA500 仅约 21kg，适合台式或移动系统；单相 100-240V 宽电压适配，50/60Hz 频率下抽气性能一致，适配不同地区电网。

  3. 洁净低噪与合规：无油洁净真空，适配高洁净度分析仪器；运行噪音约 58dB (A)，环境友好；具备 SEMI - S2、CE、NRTL 认证，适配半导体等高端应用。

  4. 远程监控可选：部分型号支持远程监控与控制，便于实验与设备管理，提升操作便利性。

关键技术参数（主流型号）

型号抽气速度（L/min）极限压力（Pa，气镇关 / 开）进气口口径排气口口径额定功率（kW，极限压力时）电源容量（kVA）重量（kg）
EV - PA5050200/200NW25NW250.230.312
EV - PA2502500.5/2.0NW25NW250.240.4518
EV - PA5005000.5/2.0NW40NW250.270.621
* 注：极限压力数值因测量条件略有差异。

典型应用

  • 分析仪器：电子显微镜、质谱仪、X 射线光电子能谱（XPS）等对真空洁净度要求高的设备。

  • 实验室与研发：半导体轻负载锁腔、材料表面分析、小型真空腔体抽气、可移动式检漏仪配套。

  • 轻量工业：光伏 / 平板显示的小型腔室、真空干燥、小型负载锁定腔等无腐蚀性副产物的工况。


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