EBARA 干式真空泵EV-SA

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2025/12/25 16:56:07
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EBARA 干式真空泵 EV-SA 系列是无冷却水的小型空冷式多级罗茨型干式真空泵，主打无油洁净、低能耗、低噪音，适配实验室与轻负载工业的清洁抽气场景。以下是其核心信息：核心特点完全空冷免维护：无需冷却水，仅需电源即可运行，安装自由度高；非接触式转子设计，低维护、…

EBARA 干式真空泵 EV-SA 系列是无冷却水的小型空冷式多级罗茨型干式真空泵，主打无油洁净、低能耗、低噪音，适配实验室与轻负载工业的清洁抽气场景。以下是其核心信息：

核心特点

  • 完全空冷免维护：无需冷却水，仅需电源即可运行，安装自由度高；非接触式转子设计，低维护、无油污染，适配清洁真空环境。

  • 轻量高效：小型轻量化，运行噪音低；50/60Hz 电源下性能一致，适配不同地区电网。

  • 合规适配性强：具备 SEMI-S2、CE、NRTL 认证，可满足半导体与实验室的合规要求。

  • 低能耗低成本：怠速模式智能适配负载，降低运行能耗，适合长期连续运行场景。

关键技术参数

型号抽气速度（L/min）极限压力（Pa）进气口口径排气口口径额定功率（kW）电源容量（kVA）
EV-SA2016703.0/5.0*NW40NW401.53
EV-SA3033003.0/5.0*NW40NW401.53
EV-SA5050003.0/5.0*NW50NW401.53
* 注：极限压力因测量条件不同略有差异。

典型应用

  • 分析仪器：电子显微镜、质谱仪、X 射线光电子能谱（XPS）等对真空洁净度要求高的设备。

  • 实验室与研发：半导体前道的轻负载锁腔、表面分析、材料研发等低气体负载工艺。

  • 工业清洁抽气：光伏 / 平板显示行业的小型腔室、真空干燥等无腐蚀性副产物的工况。


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