EBARA 干式真空泵ESA系列

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2025/12/25 16:54:52
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EBARA 干式真空泵 ESA 系列是基于罗茨泵技术的干式真空泵，核心优势是轻气体抽气高效、大腔室快速抽气，且具备智能控制与耐腐蚀特性，广泛用于 MO - CVD、LCD、光伏等场景。以下是详细介绍：核心特点轻气与大腔双适配：抽速覆盖 1400–10000 L/min（轻气型，如氢气）和 2…

EBARA 干式真空泵 ESA 系列是基于罗茨泵技术的干式真空泵，核心优势是轻气体抽气高效、大腔室快速抽气，且具备智能控制与耐腐蚀特性，广泛用于 MO - CVD、LCD、光伏等场景。以下是详细介绍：

核心特点

  1. 轻气与大腔双适配：抽速覆盖 1400–10000 L/min（轻气型，如氢气）和 20000–80000 L/min（大腔快速抽气型），兼顾两种核心需求。

  2. 智能调速与高负载适配：转子转速智能控制，可灵活匹配气体流量，应对高气体负载；大直径转子设计，设备紧凑，占地小。

  3. 耐腐蚀与定制化强：轻气型可选增强耐腐蚀配置，适配 MO - CVD 等工况；大流量型号可选有机溶剂专用排气配置。

  4. 智能监控与合规：配备 LCD 控制器，可编程报警设置，支持报警历史存储；具备 SEMI - S2、CE、NRTL 认证，适配半导体等高端制程。

  5. 低噪低振：大流量型号运行安静、振动小，便于系统集成与工厂环境维护。

关键技术参数

型号抽气速度（L/min）极限压力（Pa）进气口口径排气口口径
ESA15 - D14000.6NW40NW40
ESA25 - D25000.6NW50NW40
ESA70W(-D)70000.6NW50NW40
ESA70WN(-D)70000.4NW50NW40
ESA100W100000.6ISO80NW40
ESA200W200000.6ISO100NW40
ESA500W500000.6ISO160NW40
ESA700W700000.6ISO200NW40

典型应用

  • 轻气型（如 ESA15 - D、ESA25 - D、ESA70W）：以 MO - CVD 为主，适配光伏、半导体领域的氢气等轻气体抽气场景。

  • 大流量型（如 ESA200W - ESA700W）：适配 LCD 溅射设备、真空干燥、大型负载锁定腔室、光伏与平板显示行业的大容积腔室快速抽气。


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