EBARA EBT 系列是机械陶瓷轴承式复合涡轮分子泵

核心特点

1. 陶瓷轴承，耐用可靠：采用精密陶瓷机械轴承，寿命超 30,000 小时，抗冲击与耐气流冲击能力强，适配移动真空系统等恶劣工况，维护成本低于磁悬浮泵。

2. 复合涡轮高效抽气：复合涡轮结构，对 N₂等气体抽速高，对氢气等轻气体压缩比优异，适配超高真空（UHV）系统；允许较高前级背压，前级泵选型更灵活。

3. 冷却与安装灵活：支持风冷 / 水冷双冷却模式（部分型号可选对流冷却），适配不同系统散热条件；可任意方向安装，节省空间，便于系统集成。

4. 洁净与合规：无油无碳氢污染，适配高洁净制程；符合 SEMI - S2、CE、NRTL 等认证，适配半导体、分析仪器等高端应用。

5. 成本与控制友好：相较磁悬浮泵，采购与维护成本更低；支持远程监控，部分型号可选集成 / 分离式控制器，适配不同控制需求。

主流型号与关键参数（N₂抽速，典型值）

典型应用

• 半导体与微电子：薄膜沉积、刻蚀、晶圆检测等制程的真空系统。

• 分析仪器：电子显微镜、质谱仪、XPS 等对真空洁净度与稳定性要求高的精密仪器。

• 工业与科研：真空镀膜、光伏电池制造、加速器、材料研发等超高真空场景。