EBARA 罗茨型干泵 EV-S 系列是一款按 SEMI 工业标准设计的真空泵，具有节能、紧凑、耐腐蚀等特点，主要应用于半导体制造等领域。以下是其详细介绍：产品特点高效节能：采用独特的转子设计和怠速功能，实现了世界领先水平的节能效果，在同类型泵中功耗最低。其直流电机驱动…
阅读更多在现代工业领域中，真空规管是一种常见的精密测量工具，它主要通过测量真空状态来实现精确测量操作。而真空规管的型号十分丰富，每种型号都有着不同的适用范围和测量优势。不同类型的真空规管在科研和工业生产中有着广泛的应用，例如在真空镀膜、芯片制备以及真空冶炼等工…
阅读更多半导体芯片的制造包含数百道精密工序，涉及晶体生长、晶圆制备、纳米光刻、刻蚀和薄膜沉积等数十种核心技术。单晶硅的制备是整个流程中基础且关键的一步，它直接影响到晶圆片的质量和性能。而在拉制单晶硅的工艺中，真空泵组扮演着重要角色，真空泵组的高效运行对于确保生…
阅读更多目前各种真空泵的发展越来越受到真空应用场合的影响，一般传统的真空泵系统已经无法满足清洁无油、耐腐蚀、抽可凝性蒸汽以及能在恶劣的工况下运行的需要。因此，近几年来，干式真空泵发展很快，真空获得产品出现了更新换代的局面。螺杆真空泵是20世纪90年代初出现的一种理…
阅读更多真空干燥技术又被成为解析干燥技术，其在进行工作时是将物料放在负压的环境中，通过加热方式让物料在负压状态下达到其沸点，或者是通过降温的方法来达到物料在负压状态下的熔点，这样一来能够有效的达到物料干燥的目的。就目前的发展情况而言，真空干燥技术在干燥行业的发…
阅读更多古往今来，法兰西大地诞生了许多影响世界的巨人，从西方哲学之父笛卡尔，到浪漫主义文学领袖雨果，还有拿破仑、孟德斯鸠等等著名伟人。为了纪念他们的杰出贡献与伟大功勋，他们的肖像印在法郎钞票上被世人铭记于心。而1987版500法郎钞票上的人物，就是解释了压强和真空的…
阅读更多我们都知道，半导体芯片产业链分为IC设计、IC制造、IC封测三大环节。光刻的主要作用是将掩模版上的芯片电路图转移到硅片上，是IC制造的核心环节，也是整个IC制造中最复杂、最关键的工艺步骤。 芯片在生产过程中一般需要进行20~30次光刻，耗费时间约占整个硅片工艺的40～6…
阅读更多薄膜沉积技术是半导体、光伏等行业发展的关键工艺。薄膜沉积技术是指将在真空下用各种方法获得的气相原子或分子在基体材料表面沉积以获得离层被膜的技术。它既适合于制备超硬、耐蚀、耐热、抗氧化的机械薄膜，又适合于制备磁记录，信息存储、光敏、热敏、超导、光电转换等…
阅读更多卷绕真空镀膜技术，从上世纪70年代末开始问世，至今已发展成为应用面非常广的一种加工技术。它直接对卷状物（如塑料薄膜卷材或金属箔卷材）进行真空镀膜加工，因此具有较高的生产效率。 卷绕式真空镀膜简介 卷绕真空镀膜技术可以分为热蒸发真空镀膜技术和磁控溅射真空镀膜…
阅读更多随着产业发展及学科融合，真空技术应用场景极大丰富，相关产品及科学仪器的数字化和智能化程度显著增加；科技前沿和新兴领域的应用条件更加严苛，技术攻关难度和风险显著增加。作为真空技术的四类基础部件——真空腔体、泵、阀门和密封件的制造水平提升和工艺优化已经成为…
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