EBARA 罗茨型干泵EV-S系列

EBARA 罗茨型干泵 EV-S 系列是一款按 SEMI 工业标准设计的真空泵，具有节能、紧凑、耐腐蚀等特点，主要应用于半导体制造等领域。以下是其详细介绍：产品特点高效节能：采用独特的转子设计和怠速功能，实现了世界领先水平的节能效果，在同类型泵中功耗最低。其直流电机驱动…

EBARA 罗茨型干泵 EV-S 系列是一款按 SEMI 工业标准设计的真空泵，具有节能、紧凑、耐腐蚀等特点，主要应用于半导体制造等领域。以下是其详细介绍：

高效节能：采用独特的转子设计和怠速功能，实现了世界领先水平的节能效果，在同类型泵中功耗最低。其直流电机驱动不受频率（50/60Hz）影响，能提供更低的能耗和相同的抽气性能。
紧凑轻便：具有占用空间小、重量轻的特点，例如 EV-S20 型号的尺寸仅为 230×450×275mm，重量为 60kg，便于安装和搬运。
配置灵活：有多种配置可供选择，EV-SP 型含氮气吹扫功能，EV-SN 型采用镍合金材料并配备氮气吹扫功能，可满足不同工艺需求。
性能优越：在高压力下，独特的排气设计也能保证抽气能力，且具有先进的预警和报警数据存储功能，通过可编程的 LCD 控制器可进行手动预警设置，先进的传感器配置能减少产品停机时间。
耐腐蚀：可选配耐腐蚀材料，能够适应从如负载锁定和 SEM 等轻负荷用途到腐蚀性工艺等广泛的应用场景。
符合标准：符合 SEMI-S2、CE、NRTL 等标准，具有良好的安全性和可靠性。

型号	EV-S20	EV-S20P/N	EV-S30	EV-S30P	EV-S50	EV-S50P/N	EV-S100	EV-S100P/N	EV-S200	EV-S200P/N
冷却水流量（L/min）	1.5~3.0	1.5~3.0	1.5~3.0	1.5~3.0	2.0~3.0	2.0~3.0	2.0~3.0	2.0~3.0	2.0~3.0	2.0~3.0
冷却水温度（℃）	Max.30	Max.30	Max.30	Max.30	Max.30	Max.30	Max.30	Max.30	Max.30	Max.30
电源容量（kVA）	3.2	3.2	3.6	3.6	4.8	4.8	6.4	6.4	6.8	6.8
抽气速度（L/min）	1670	1670	3300	3300	5000	5000	10000	10000	20000	20000
极限压力（Pa）	3	5	0.5	1	0.5	0.5	0.5	0.5	0.5	0.5
进气口连接口径	NW50	NW50	NW50	NW50	NW50	NW50	NW80	NW80	NW100	NW100
排气口连接口径	NW25	NW25	NW25	NW25	NW25	NW25	NW25	NW25	NW40	NW40
极限压力时电力（kW）	0.4	0.4	0.4	0.4	0.55	0.55	0.65	0.65	0.75	0.75

该系列泵主要应用于半导体制造领域，如化学气相沉积（CVD）、负载锁定真空传输、蚀刻等工艺，也可用于一般真空、LED 制造、光伏等行业。

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