真空泵的核心原理是通过特定的机械或物理手段，在目标空间内制造压力差，将气体分子从低压区域（待抽真空空间）转移到高压区域（通常是大气），从而降低目标空间的气体压力，实现真空状态。根据工作原理的不同，真空泵主要可分为气体捕集型和气体传输型两大类，其具体实现…
真空泵的核心原理是通过特定的机械或物理手段，在目标空间内制造压力差，将气体分子从低压区域（待抽真空空间）转移到高压区域（通常是大气），从而降低目标空间的气体压力，实现真空状态。
根据工作原理的不同，真空泵主要可分为气体捕集型和气体传输型两大类，其具体实现方式存在显著差异。
这类泵通过机械运动或流体动能，持续将气体从入口 “输送" 到出口，如同 “泵水" 一样 “泵气"，适用于从粗真空到超高真空的多种场景。
变容式（机械运动类）
旋片泵：转子带动旋片在泵腔内旋转，不断形成密封空间并改变容积。
罗茨泵：两个 “8" 字形转子反向同步旋转，将气体从入口 “咬合" 输送至出口，无内压缩。
螺杆泵：一对阴阳螺杆高速旋转，利用螺杆齿间的容积变化吸入和排出气体，常用于半导体行业。
原理：通过泵腔内运动部件（如转子、活塞）的周期性运动，改变泵腔容积。容积增大时吸入气体，容积缩小时压缩气体，最后通过排气阀将高压气体排出。
常见类型：
动量传输型（流体类）
涡轮分子泵：高速旋转的叶轮（转速可达数万转 / 分钟）撞击气体分子，赋予其定向动量，使其向排气口运动。
喷射泵：通过高压流体（如水、蒸汽或氮气）的喷射形成负压，吸入并带走气体。
原理：利用高速运动的流体（气体或液体）携带目标空间的气体分子，将其 “冲刷" 至出口。高速流体可由机械叶轮或喷射装置产生。
常见类型：
这类泵不直接 “输送" 气体，而是通过物理或化学方式将气体分子 “固定" 在泵内部（如吸附、冷凝），从而减少目标空间的气体分子数量。
无论哪种类型的真空泵，其工作过程都离不开以下两个核心环节：
吸气过程：泵的入口侧与待抽真空空间连通，由于泵腔内压力低于目标空间，气体分子自然流入泵腔。
排气过程：泵通过压缩、捕集或动量传输等方式，使泵腔内气体压力高于出口侧（通常为大气压），最终将气体排出泵外。
这两个过程循环往复，持续降低目标空间的气体压力，直至达到泵的极限压力（泵能达到的较低压力）。
