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EBARA G5 是带专利滚动燃烧器的紧凑型燃烧 + 洗涤式排废处理装置
EBARA G5 是带专利滚动燃烧器的紧凑型燃烧 + 洗涤式排废处理装置，核心优势为 PFCs 高效处理、按需燃料控制、自动清粉，适配半导体刻蚀 / CVD 等制程，可与 EBARA 干式真空泵联动，处理效率（DRE）高、运行 / 维护成本低。以下是详细信息：核心特点PFCs 高效处理：专利 “…
阅读更多EBARA TND 系列是低 NOₓ燃烧式排废处理装置
EBARA TND 系列是低 NOₓ燃烧式排废处理装置，主打低排放、长维护周期、低运行成本，适配半导体 PFCs / 含氟 / 硅系等难处理废气，以 “燃烧 + 洗涤” 双段工艺实现高 DRE，适配刻蚀、CVD 等制程，可与 EV‑PA/EV‑M 等干式真空泵联动。以下是核心信息：核心特点低排放清
阅读更多EBARA G-WS 是紧凑型湿式洗涤式排废处理装置
EBARA G - WS 是紧凑型湿式洗涤式排废处理装置，核心优势为低初购 / 运行成本、长维护周期、省空间，专为半导体等行业常温水溶性有害气体处理设计，适配外延、ALD、金属刻蚀等制程，可一括处理 NH₃、HF、HCl、WF₆等多种气体。以下是详细信息：核心特点低成本高效处理：…
阅读更多EBARA EBT 系列是机械陶瓷轴承式复合涡轮分子泵
EBARA EBT 系列是机械陶瓷轴承式复合涡轮分子泵，定位高真空 / 超高真空场景的高性价比方案，相比 EMT 磁悬浮系列，以更低成本提供稳定洁净真空，适配半导体、分析仪器、镀膜等对真空洁净度与可靠性要求高的场景。以下是核心信息：核心特点陶瓷轴承，耐用可靠：采用精密陶…
阅读更多EBARA EMT 系列是 5 轴磁悬浮式超高真空涡轮分子泵
EBARA EMT 系列是 5 轴磁悬浮式超高真空涡轮分子泵，核心优势是无碳氢污染、超低振动、安装自由，抽速覆盖 340–4200 L/s，适配半导体、分析仪器、加速器等对真空洁净度与稳定性要求极高的场景。以下是详细介绍：核心特点磁悬浮无接触运行：5 轴主动磁悬浮轴承，无机械摩…
阅读更多EBARA 干式真空泵EV-PA
EBARA 干式真空泵 EV - PA 系列是超小型空冷式无油干式真空泵，以单相宽电压适配、便携低噪、免维护为核心优势，主打实验室与轻负载工业的洁净真空场景，可替代传统涡旋泵与油泵。以下是详细介绍：核心特点完全空冷与低维护：无需冷却水，仅靠电源即可运行，安装自由度高…
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