EBARA荏原 华南一级代理 干式真空泵 EMT427M

产品详情

1. 核心产品特点

• 磁悬浮设计兼顾高效与稳定：作为磁気浮上仕样的分子泵，其磁悬浮轴承设计减少了机械接触带来的磨损，不仅能提升运行稳定性，还可助力实现高真空性能，适配从大气压到高真空的多种工况，契合半导体刻蚀等对真空环境要求严苛的工艺。同时优化的结构设计让设备运行时振动极小，进一步保障了制程的稳定性。

• 安装与冷却方式灵活适配：该系列安装姿势不受限制，能灵活适配不同场地的布局需求，不用受安装方位的约束。冷却方面，除 EMT2200MK、EMT3300MK 型号外，其余多数型号可自主选择空冷或水冷模式，既能适配无冷却水布局的小型车间，也能满足高负荷运行下需强效冷却的大型生产场景。

• 定制化适配特殊工况：支持高温仕様、耐食仕様等定制选项，针对特殊场景还能提供反应生成物应对、超低振动等专属定制，适配不同行业的特殊制程。比如面对含腐蚀性气体的化工场景，可通过定制防腐涂层增强设备耐受性，延长使用寿命。

• 合规且支持智能监控：产品符合 CE、SEMI S2 以及 NRTL 相关标准，适配精密电子制造等对合规性要求高的领域。同时支持网络连接，可接入 EBANET3 真空设备集中监视系统，实现设备远程集中监控，还能完成高速通信和大容量数据存储，方便用户追溯设备运行状态与故障信息。

2. 主流型号核心参数

   该系列两类型号的抽速差异较大，可针对性适配不同真空需求，具体关键参数如下表：

   型号类别	具体型号	最大排气速度（N₂，L/s）
   罗茨泵分离型	EMT397M	340
   罗茨泵分离型	EMT427M	400
   罗茨泵分离型	EMT907M	900
   罗茨泵分离型	EMT1307M	1300
   罗茨泵分离型	EMT2400M	2400
   罗茨泵一体型	EMT1700MK	1650
   罗茨泵一体型	EMT2200MK	2200
   罗茨泵一体型	EMT3300MK	3300
   罗茨泵一体型	EMT3400MK	3300
   罗茨泵一体型	EMT3800MK	3600
   罗茨泵一体型	EMT4200MK	4200

3. 主要应用领域

   其高真空性能和洁净特性使其在半导体制造的晶圆加工、薄膜沉积等核心工艺中表现突出；在环保和能源领域，可用于气体处理、新能源材料制备等环节的真空抽取作业；同时也适配电子 / 电池行业的精密制造流程，能为相关制程提供稳定可靠的高真空环境，此外在化工行业的特殊气体处理等场景中也有广泛适配性。