EBARA荏原 华南一级代理 干式真空泵ESA70WN(-D)

产品详情

1. 核心产品特点

• 针对性适配不同排气需求：该系列分两类核心适配型号，抽气速度 10000L/min 及以下的型号（如 ESA15 - D、ESA25 - D）擅长抽取氢气等轻气体，且占地面积小；抽气速度 20000 - 80000L/min 的较大型号（如 ESA200W、ESA500W）则聚焦大容积腔室快速排气，还能实现低振动、低噪音运行。同时部分型号具备智能转子转速控制功能，可根据气体吞吐量灵活调节，适配不同工况。

• 防腐耐用且适配特殊制程：小排量型号拥有增强耐腐蚀选项，部分型号可做镀镍或 PTFE 涂层等特殊防腐处理，能应对复杂腐蚀性气体环境。此外，全系列可选配有机溶剂相关制程的专属配置，适配需要处理有机溶剂的真空工艺，拓宽了应用场景。

• 操作便捷且安全合规：搭载可编程 LCD 控制器，支持手动设置报警，还具备先进的预警和报警数据存储能力，方便用户实时监控设备状态并追溯故障。同时产品符合 SEMI - S2、CE 以及 NRTL 相关标准，能满足精密制造等领域的安全与洁净要求。

2. 典型型号技术规格

   该系列型号丰富，不同型号参数适配不同场景，以下是部分主流型号的关键参数：

   型号	核心优势	适配场景
   ESA15 - D	擅长轻气体抽取，设计紧凑，50Hz 时抽气速度 1400L/min、极限压力 400Pa	MO - CVD 等轻气体相关工艺
   ESA25 - D	耐腐蚀性能优，轻气体抽取效率高	中小型 MO - CVD、EPI 等工艺
   ESA70W(-D)	抽气速度适中，适配性强	多种中等负荷的轻气体排气场景
   ESA200W	大排量快速排气，低振动低噪音	LCD 溅射设备、大型负载锁定装置
   ESA500W	变螺距螺杆设计，抽速范围 500 - 1000m³/h，极限真空可达 0.1Pa	光伏、LCD 行业大容积腔室真空工艺

3. 主要应用领域

   该系列在电子制造领域应用广泛，像 ESA15 - D、ESA25 - D 等型号大量应用于 MO - CVD、EPI 等半导体相关工艺；ESA200W 及以上大排量型号适配 LCD 溅射设备和光伏制造中的大型真空腔室排气。此外，还可用于真空干燥、真空镀膜等工艺，同时也能作为质谱仪等分析仪器的前级泵，为其提供稳定真空环境，还适配石油、能源等行业的部分真空工序。