EBARA荏原 华南一级代理 干式真空泵 EST100WN

产品详情

1. 核心产品特点

• 适配高负荷副产物工艺：采用螺杆型转子设计，且具备高温操作功能，能将泵内气体维持在高温状态，可高效应对化学气相沉积（CVD）等易产生反应副产物的工艺，避免副产物堆积影响设备运行，大幅减少停机维护时间，提升整体工艺效率。

• 高适配性与低耗兼顾：该系列产品型号丰富，抽气速率覆盖 1000 - 80000L/min，能匹配不同工艺和抽气速度的需求。同时在适配高负荷工艺的基础上实现了低功耗，还搭载转速自动控制功能，可根据流入气体流量灵活调整转速，进一步优化能耗。

• 防腐且功能智能化：标配耐腐蚀性材料，还可选择镍合金、镍涂层等耐腐蚀增强配置，能稳定应对蚀刻等工艺中的腐蚀性气体，延长设备在复杂工况下的使用寿命。此外，其搭载高性能通信功能与先进控制方式，具备数据保存、警报履历备份等能力，搭配可编程 LCD 控制器还能手动设置报警，便于用户监控和管理设备。

2. 关键技术规格

   该系列不同型号参数差异较明显，以下是主流型号的核心规格：

   型号	抽气速度（L/min）	极限压力（Pa）	极限压力时功率（kW）	设备重量（kg）	吸气口口径
   EST10N	1000	2.7	2.3	260	NW40
   EST25N	2500	0.4	3	300	NW40
   EST100WN	10000	0.4	3.2	380	NW50
   EST200WN	20000	0.4	3.2	430	NW100
   EST300WN	30000	0.4	4.5	500	NW100
   EST500WN	50000	0.4	4.6	550	ISO160
   EST800WN	80000	0.5	4.6	840	ISO200

3. 主要应用领域

   其应用场景集中在对设备防腐性、真空稳定性要求高的精密制造领域，除了核心适配半导体制造中的 CVD 工艺外，还可用于液晶显示器制造的镀膜等易产生化学副产物的环节；同时也能拓展到光伏、电子元件等行业中，应对各类含腐蚀性气体或高负荷的真空作业场景。