EBARA荏原 华南一级代理 干式真空泵EV-M805SF

产品详情

1. 核心产品特点

• 适配高负荷场景：搭载荏原高温控制技术，能轻松应对半导体、液晶显示器和太阳能电池制造中易产生反应副产物的高负荷工艺。同时产品阵容丰富，包含排量达 110,000L/min 的大排量型号，可匹配不同规模的高负荷工艺需求。

• 节能且适配性强：通过根部转子装置与高扭矩电动机、逆变器的结合提升能效，在满足高负荷作业的同时实现节能目标。而且该系列在 50Hz 和 60Hz 不同电网频率下性能保持一致，不用适配不同地区用电环境而调整，适用范围广。

• 防腐且洁净安全：标配耐腐蚀材料，还可选择耐腐蚀性改进配置，能耐受蚀刻等工艺中产生的腐蚀性气体，延长设备在复杂工况下的使用寿命。同时采用无油设计，避免油和水回流扩散，且符合 CE 标志、SEMI - S2 以及 NRTL 相关标准，满足高洁净度作业要求。

• 维护与控制便捷：采用模块化设计，便于快速更换核心部件，缩短维修停机时间；部分型号搭载高性能通信机能和高度控制方式，具备数据保存、警报履历备份等功能，还支持远程监控与精确控制，降低操作管理难度。

2. 关键技术规格

   该系列不同型号的参数差异较大，以下是部分主流型号的核心规格：

   型号	抽气速度（升 / 分钟）	极限压力（帕）	极限压力下功率（千瓦）	供电容量（千伏安）	设备重量（公斤）
   EV - M20N	1800	5	1.2	3.3	170
   EV - M102N	10000	0.5	1.8	5.4	320
   EV - M302N	30000	0.5	2.3	6.8	400
   EV - M502N	50000	0.5	2.1	7.1	500
   EV - M802N	80000	0.5	2.8	8.3	-
   EV - M1205SF	110000	0.5	5.3	14.2	-

3. 主要应用领域

   除了半导体制造中的离子注入、外延生长等工艺，液晶显示器生产的镀膜、封装环节，太阳能电池制造的相关高负荷工序外，还可用于新能源电池生产的锂电极片干燥、电解液注液等环节；在化工领域可处理挥发性有机物回收、蒸馏、萃取等工艺，同时也适用于光伏等对真空环境和洁净度有要求的行业。