EBARA荏原 华南一级代理 EV-S200

产品详情

EBARA EV-S20 是荏原制作所推出的罗茨型干式真空泵，属于 EV-S 系列，具有低功耗、紧凑轻便等特点。

• 产品特点

• 无油清洁：采用非接触式密封技术，无需使用油或液体进行密封，能实现清洁真空，避免油和水的回流或扩散，适用于对真空环境要求较高的场合。

• 节能高效：优化的转子设计提高了压缩效率，降低了功耗，部分型号还具备怠速模式，可进一步节省能源。

• 小巧轻便：具有小型轻量化的设计特点，占用空间小，便于安装在有限的空间内，且易于搬运。

• 低噪音振动：运行时噪音和振动水平较低，能为用户提供较为安静的工作环境，同时也有助于设备的稳定运行和延长使用寿命。

• 智能控制：具备先进的控制管理功能，如数据保存、警报履历备份等，部分型号还可通过可编程的 LCD 控制器进行手动预警设置，方便用户监控和管理设备。

• 技术规格

• 抽气速度：1670L/min。

• 极限压力：EV-S20 型为 3Pa，EV-S20P/N 型为 5Pa。

• 电源：电源容量为 3.2kVA，电源规格为三相 200-220V（50/60Hz）。

• 冷却水：冷却水流量为 1.5-3.0L/min，水温最高 30℃。

• 连接口径：进气口为 NW50，排气口为 NW25。

• 应用领域：该泵广泛应用于半导体、光伏等领域，适用于从轻负载工艺如负载锁定和 SEM，到腐蚀性工艺等多种场景。